隨著計(jì)算機(jī)科學(xué)的發(fā)展，從20世紀(jì)70年代開(kāi)始，國(guó)際上許多研究工作者用計(jì)算機(jī)模擬方法研究薄膜的形成過(guò)程。利用計(jì)算機(jī)模擬薄膜形成過(guò)程時(shí)大體可以采用兩種方法:蒙特卡羅方法和分子動(dòng)力學(xué)方法。
    蒙特卡羅(Monte Carlo)方法又稱(chēng)隨機(jī)模擬法或統(tǒng)計(jì)試驗(yàn)法。用這種方法處理問(wèn)題時(shí)，首先要建立隨機(jī)模型，然后產(chǎn)生一系列隨機(jī)數(shù)用以模擬這個(gè)過(guò)程，*再作統(tǒng)計(jì)性處理。在模擬薄膜形成過(guò)程時(shí)，將氣相原子人射到基體上、吸附、解吸，吸附原子的凝結(jié)、表面擴(kuò)散、成核、形成聚集體和形成小島等都看為獨(dú)立過(guò)程并作隨機(jī)現(xiàn)象處理。
    分子動(dòng)力學(xué)(molecular dynamics)方法是一種較老的方法。在這種方法中對(duì)系統(tǒng)的典型樣本的演化都是以時(shí)間和距離的微觀(guān)尺度進(jìn)行的。